DIN EN ISO 14644-2
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration (ISO 14644-2:2015); German version EN ISO 14644-2:2015
Organization: | DIN |
Publication Date: | 1 May 2016 |
Status: | active |
Page Count: | 22 |
ICS Code (Cleanrooms and associated controlled environments): | 13.040.35 |
scope:
Dieser Teil von ISO 14644 legt die Mindestanforderungen
Dieser Teil von ISO 14644 behandelt nicht die Zustandsüberwachung von Aspekten, wie z. B. Vibration oder die allgemeine Instandhaltung der Engineeringsysteme. Er ist nicht für die Überwachung von Partikelgruppen vorgesehen, die außerhalb des festgelegten unteren Schwellenwerts (Nachweisgrenze) der Partikelgröße im Bereich zwischen 0,1 μm und 5 μm liegen. Konzentrationen von ultrafeinen Partikeln (Partikel kleiner als 0,1 μm) werden in einem anderen Teil dieser Normenreihe behandelt.