DIN ISO 21360-1
Vacuum technology - Standard methods for measuring vacuum-pump performance - Part 1: General description (ISO 21360-1:2012)
| Organization: | DIN |
| Publication Date: | 1 September 2016 |
| Status: | active |
| Page Count: | 34 |
| ICS Code (Vacuum technology): | 23.160 |
scope:
In diesem Teil von ISO 21360 werden drei Verfahren zur Messung des Volumenstroms festgelegt sowie jeweils ein Verfahren zur Messung von Basisdruck, Kompressionsverhältn
Das erste Verfahren zur Messung des Volumenstroms (das Durchflussverfahren)
Das zweite Verfahren zur Messung des Volumenstroms (das Blendenverfahren) wird verwendet, wenn bei sehr kleinen Ansaugdrücken, ein sehr kleiner pV-Durchfluss besteht (im Hochvakuum- oder Ultrahochvakuumberei
Das dritte Verfahren zur Messung des Volumenstroms (das Auspumpverfahren) ist gut für automatisierte Messungen geeignet. Grundlage ist die Evakuierung eines großen Behälters. Der Volumenstrom errechnet sich aus den beiden Drücken zu Beginn und zum Ende eines Auspumpintervalls und dem Volumen des Messdoms. Verschiedene Parameter, wie z. B. Leck- und Desorptionsraten, Abkühlung des Gases durch eine nahezu isentrope Expansion während des Auspumpintervalls und der durch Molekularströmung bei niedrigen Drücken ansteigende Strömungswiderstand in der Verbindungsleitung zwischen Messdom und Pumpe, beeinflussen die Ergebnisse der Druckmessungen und den sich daraus ergebenden Volumenstrom.
Die Auswahl der erforderlichen Messverfahren findet in Abhängigkeit des zu messenden Vakuumpumpentyps statt, so ist z. B. die Messung des kritischen Vorvakuumdrucks nur bei Vakuumpumpen erforderlich, die eine Vorvakuumpumpe benötigen. Sämtliche an Vakuumpumpen gemessenen Daten, die nicht in diesem Teil von ISO 21360 festgelegt sind (z. B. Messung des Energieverbrauchs), sind in der spezifischen Pumpennorm festgelegt
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