DIN ISO 3567
Vacuum gauges - Calibration by direct comparison with a reference gauge (ISO 3567:2011)
| Organization: | DIN |
| Publication Date: | 1 May 2015 |
| Status: | active |
| Page Count: | 20 |
| ICS Code (Vacuum technology): | 23.160 |
scope:
Diese Internationale Norm legt die physikalischen, technischen und metrologischen Bedingungen fest, die erfüllt werden müssen, wenn Vakuummeter durch den Vergleich mit einem Bezugsnormal kalibriert werden. Aus diesen Bedingungen wird abgeleitet, wie ein Vakuumsystem zu diesem Zweck konstruiert werden muss.
Diese Internationale Norm deckt die Kalibrierung aller Arten von
Vakuummetern ab. Viele bestehen aus mehreren Teilen, typischerweise
aus dem Messkopf, Kabel, der Versorgungseinrichtu
Das Bezugsnormal ist im Regelfall ein auf ein Vakuumprimärnormal oder entsprechendes Nationales Normal rückgeführtes Messgerät, versehen mit einem Kalibrierschein nach ISO/IEC 17025, oder in seltenen Fällen ein absolut messendes Vakuummessgerät, welches auf das SI rückgeführt ist und dessen Messwert eine Unsicherheit beigeordnet werden kann.
Diese Internationale Norm gibt keine Anweisungen, wie mit Vakuummetern im Detail zu verfahren ist, sei es als Bezugsnormal oder als Kalibrierobjekt. Es ist beabsichtigt, diese Anweisungen in weiteren Normen niederzulegen.
Der Druckbereich für Kalibrierungen nach dieser Norm hängt vom jeweiligen Vakuumsystem für die Kalibrierung sowie vom Bezugsnormal ab. Der Bereich überschreitet jedoch nicht die Grenzen 10−6 Pa bis 110 kPa.
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