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DIN EN ISO 14644-2

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration (ISO 14644-2:2015); German version EN ISO 14644-2:2015

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Organization: DIN
Publication Date: 1 May 2016
Status: active
Page Count: 22
ICS Code (Cleanrooms and associated controlled environments): 13.040.35
scope:

Dieser Teil von ISO 14644 legt die Mindestanforderungen an einen Überwachungsplan für die Leistung eines Reinraums oder eines reinen Bereichs in Bezug auf die Luftreinheit anhand der Partikelkonzentration auf der Grundlage von Parametern fest, die die Konzentration luftgetragener Partikel messen oder beeinflussen.

Dieser Teil von ISO 14644 behandelt nicht die Zustandsüberwachung von Aspekten, wie z. B. Vibration oder die allgemeine Instandhaltung der Engineeringsysteme. Er ist nicht für die Überwachung von Partikelgruppen vorgesehen, die außerhalb des festgelegten unteren Schwellenwerts (Nachweisgrenze) der Partikelgröße im Bereich zwischen 0,1 μm und 5 μm liegen. Konzentrationen von ultrafeinen Partikeln (Partikel kleiner als 0,1 μm) werden in einem anderen Teil dieser Normenreihe behandelt.

Document History

DIN EN ISO 14644-2
May 1, 2016
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration (ISO 14644-2:2015); German version EN ISO 14644-2:2015
Dieser Teil von ISO 14644 legt die Mindestanforderungen an einen Überwachungsplan für die Leistung eines Reinraums oder eines reinen Bereichs in Bezug auf die Luftreinheit anhand der...
November 1, 2014
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration (ISO/DIS 14644-2:2014); German version prEN ISO 14644-2:2014
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December 1, 2010
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 2: Specifications for monitoring and periodic testing to prove continued compliance with ISO 14644-1 (ISO/DIS 14644-2:2010); German version prEN ISO 14644-2:2010
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February 1, 2001
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 2: Specifications for testing and monitoring to prove continued compliance with ISO 14644-1 (ISO 14644-2:2000); German version EN ISO 14644-2:2000
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November 1, 1998
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 2: Specifications for testing and monitoring to prove continued compliance with ISO 14644-1 (ISO/DIS 14644-2:1998); German version prEN ISO 14644-2:1998
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References

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