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Diese Internationale Norm legt ein zerstörendes Verfahren zum Bestimmen der Trockenschichtdicke fest, bei dem eine definiert erzeugte Schichtverletzung mikroskopisch ausgewertet wird. Das Verfahren ist für nahezu alle Schicht-Substrat-Kombinationen geeignet und lässt auch die Bestimmung der Einzelschichtdicken von Beschichtungssystemen zu.

Das Verfahren kann in folgenden Fällen nicht oder nur bedingt angewendet werden:

- zu weiche und/oder elastische Beschichtungen (es kann kein erkennbarer Ritz oder erkennbares Bohrloch wahrgenommen werden);

- harte (nicht anritzbare/anbohrbare) oder zu weiche und/oder elastische Substrate;

- zu geringer optischer Kontrast zwischen Beschichtung und Substrat;

- Schichtdicken, die größer sind als die Schärfentiefe des Messmikroskops.