TSE ISO/TR 15969
Surface chemical analysis ? Depth profiling ? Measurement of sputtered depth
active, Most Current
| Organization: | TSE |
| Publication Date: | 21 April 2004 |
| Status: | active |
| ICS Code (Chemical analysis): | 71.040.40 |
scope:
Bu standard, kati yuzeylerin agir iyonlar ile bombardimanedilerek bu yuzeylerin asindirilmasi islemlerinde, asindirmaderinlikler
Document History
TSE ISO/TR 15969
April 21, 2004
Surface chemical analysis ? Depth profiling ? Measurement of sputtered depth
Bu standard, kati yuzeylerin agir iyonlar ile bombardimanedilerek bu yuzeylerin asindirilmasi islemlerinde, asindirmaderinliklerinin olculmesine iliskin bir kilavuz olarakkullanilabilecek bilgileri...