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DIN EN ISO 23216

Kohlenstoffschichten - Bestimmung der optischen Eigenschaften von amorphen Kohlenstoffschichten mittels spektroskopischer Ellipsometrie (ISO 23216:2021); Deutsche Fassung EN ISO 23216:2022

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Organization: DIN
Publication Date: 1 January 2023
Status: active
Page Count: 14
ICS Code (Other treatments and coatings): 25.220.99

Document History

DIN EN ISO 23216
January 1, 2023
Kohlenstoffschichten - Bestimmung der optischen Eigenschaften von amorphen Kohlenstoffschichten mittels spektroskopischer Ellipsometrie (ISO 23216:2021); Deutsche Fassung EN ISO 23216:2022
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August 1, 2022
Kohlenstoffschichten - Bestimmung der optischen Eigenschaften von amorphen Kohlenstoffschichten mittels spektrokopischer Ellipsometrie (ISO 23216:2021); Deutsche und Englische Fassung prEN ISO 23216:2022
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