DIN EN 62047-5
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 5: RF MEMS switches (IEC 62047-5:2011); German version EN 62047-5:2011
| Organization: | DIN |
| Publication Date: | 1 March 2012 |
| Status: | active |
| Page Count: | 37 |
| ICS Code (Electromechanical components in general): | 31.220.01 |
| ICS Code (Semiconductor devices in general): | 31.080.01 |
scope:
In diesem Teil der IEC 62047 sind Begriffe, Definitionen,
Symbole und Prüfverfahren festgelegt, die verwendet werden können,
um die wesentlichen Kenngrößen und charakteristischen Eigenschaften
von mikro-elektromechani
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