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DIN EN ISO 25178-603

Geometrische Produktspezifikation (GPS) - Oberflaechenbeschaffenheit: Flaechenhaft - Teil 603: Merkmale von beruehrungslos messenden Geraeten (phasenschiebende interferometrische Mikroskopie) (ISO 25178-603:2013); Deutsche Fassung EN ISO 25178-603:2013

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Organization: DIN
Publication Date: 1 February 2014
Status: active
Page Count: 34
ICS Code (Geometrical Product Specification (GPS)): 17.040.40
scope:

Dieser Teil der ISO 25178 legt die messtechnischen Eigenschaften von Messgeräten der phasenschiebenden interferometrischen (PSI-) Mikroskopie zur Messung von Oberflächenprofilen und zur flächenhaften Messung der Oberflächenbeschaffenheit fest.

Document History

December 1, 2023
Geometrische Produktspezifikation (GPS) - Oberflaechenbeschaffenheit: Flaechenhaft - Teil 603: Aufbau und Merkmale von beruehrungslos messenden Geraeten (phasenschiebende Interferometrie) (ISO/DIS 25178-603:2023); Deutsche und Englische Fassung prEN ISO 25178-603:2023
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DIN EN ISO 25178-603
February 1, 2014
Geometrische Produktspezifikation (GPS) - Oberflaechenbeschaffenheit: Flaechenhaft - Teil 603: Merkmale von beruehrungslos messenden Geraeten (phasenschiebende interferometrische Mikroskopie) (ISO 25178-603:2013); Deutsche Fassung EN ISO 25178-603:2013
Dieser Teil der ISO 25178 legt die messtechnischen Eigenschaften von Messgeräten der phasenschiebenden interferometrischen (PSI-) Mikroskopie zur Messung von Oberflächenprofilen und zur flächenhaften...
August 1, 2011
Geometrische Produktspezifikation (GPS) - Oberflaechenbeschaffenheit: Flaechenhaft - Teil 603: Merkmale von beruehrungslos messenden Geraeten (der phasenschiebenden interferometrischen Mikroskopie) (ISO/DIS 25178-603:2011); Deutsche Fassung prEN ISO 25178-603:2011
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September 1, 2009
Geometrische Produktspezifikation (GPS) - Oberflaechenbeschaffenheit: Flaechenhaft - Teil 603: Merkmale von beruehrungslos messenden Geraeten (der phasenschiebenden interferometrischen Mikroskopie) (ISO/DIS 25178-603:2009); Deutsche Fassung prEN ISO 25178-603:2009
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References

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