DIN 50450-2
Pruefung von Materialien fuer die Halbleitertechnologie; Bestimmung von Verunreinigungen in Traeger- und Dotiergasen; Bestimmung der Sauerstoffverunreinigung in Stickstoff, Argon, Helium, Neon und Wasserstoff mittels einer galvanischen Messzelle
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| Organization: | DIN |
| Publication Date: | 1 March 1991 |
| Status: | active |
| Page Count: | 2 |
| ICS Code (Semiconducting materials): | 29.045 |
| ICS Code (Gases for industrial application): | 71.100.20 |
Document History
DIN 50450-2
March 1, 1991
Pruefung von Materialien fuer die Halbleitertechnologie; Bestimmung von Verunreinigungen in Traeger- und Dotiergasen; Bestimmung der Sauerstoffverunreinigung in Stickstoff, Argon, Helium, Neon und Wasserstoff mittels einer galvanischen Messzelle
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