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DIN ISO 3567

Vacuum gauges - Calibration by direct comparison with a reference gauge (ISO 3567:2011)

active, Most Current
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Organization: DIN
Publication Date: 1 May 2015
Status: active
Page Count: 20
ICS Code (Vacuum technology): 23.160
scope:

Diese Internationale Norm legt die physikalischen, technischen und metrologischen Bedingungen fest, die erfüllt werden müssen, wenn Vakuummeter durch den Vergleich mit einem Bezugsnormal kalibriert werden. Aus diesen Bedingungen wird abgeleitet, wie ein Vakuumsystem zu diesem Zweck konstruiert werden muss.

Diese Internationale Norm deckt die Kalibrierung aller Arten von Vakuummetern ab. Viele bestehen aus mehreren Teilen, typischerweise aus dem Messkopf, Kabel, der Versorgungseinrichtung und einer Ausleseeinheit. Diese Messkette als Ganzes wird als Kalibrierobjekt angesehen. Wenn nur der Messkopf, d. h. der Teil des Vakuummessgeräts der direkt mit dem zu messenden Vakuum in Kontakt ist, kalibriert wird, müssen alle Einstellungen und Umgebungsbedingungen so aufgezeichnet werden, dass der Nutzer des Messkopfs seine Messungen unter den gleichen Bedingungen wie bei der Kalibrierung ausführen kann.

Das Bezugsnormal ist im Regelfall ein auf ein Vakuumprimärnormal oder entsprechendes Nationales Normal rückgeführtes Messgerät, versehen mit einem Kalibrierschein nach ISO/IEC 17025, oder in seltenen Fällen ein absolut messendes Vakuummessgerät, welches auf das SI rückgeführt ist und dessen Messwert eine Unsicherheit beigeordnet werden kann.

Diese Internationale Norm gibt keine Anweisungen, wie mit Vakuummetern im Detail zu verfahren ist, sei es als Bezugsnormal oder als Kalibrierobjekt. Es ist beabsichtigt, diese Anweisungen in weiteren Normen niederzulegen.

Der Druckbereich für Kalibrierungen nach dieser Norm hängt vom jeweiligen Vakuumsystem für die Kalibrierung sowie vom Bezugsnormal ab. Der Bereich überschreitet jedoch nicht die Grenzen 10−6 Pa bis 110 kPa.

Document History

DIN ISO 3567
May 1, 2015
Vacuum gauges - Calibration by direct comparison with a reference gauge (ISO 3567:2011)
Diese Internationale Norm legt die physikalischen, technischen und metrologischen Bedingungen fest, die erfüllt werden müssen, wenn Vakuummeter durch den Vergleich mit einem Bezugsnormal kalibriert...
March 1, 2014
Vacuum gauges - Calibration by direct comparison with a reference gauge
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References

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