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Diese Technische Spezifikation enthält Begriffe und Definitionen, die sich auf Prozesse der Nanoherstellung im Bereich der Nanotechnologien beziehen. Sie stellt einen Teil einer mehrteiligen Dokumentation zur Terminologie und zu Festlegungen dar, die die verschiedenen Aspekte von Nanotechnologien behandelt.

Alle Begriffe bezüglich Prozessen in diesem Dokument sind für die Nanoherstellung maßgebend. Viele der aufgeführten Prozesse sind nicht ausschließlich nur für den Nanomaßstab maßgebend. In Abhängigkeit von regelbaren Bedingungen können derartige Prozesse zu Materialeigenschaften im Nanomaßstab, oder alternativ auch in größeren Maßstäben führen.

Es gibt im Zusammenhang mit der Nanoherstellung viele weitere Begriffe, die Werkzeuge, Teile, Werkstoffe, Verfahren zur Systemkontrolle oder Messtechnik-Verfahren bezeichnen, die aber nicht Gegenstand des Anwendungsbereiches dieses Dokumentes sind.