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DIN EN 62047-1

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions (IEC 62047-1:2016); German version EN 62047-1:2016

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Organization: DIN
Publication Date: 1 December 2016
Status: active
Page Count: 37
ICS Code (Electromechanical components in general): 31.220.01
ICS Code (Electronics (Vocabularies)): 01.040.31
ICS Code (Semiconductor devices in general): 31.080.01
scope:

In diesem Teil der IEC 62047 sind Begriffe für Bauelemente der Mikrosystemtechnik (MST) einschließlich der Fertigungsprozesse für solche Bauelemente festgelegt

Document History

DIN EN 62047-1
December 1, 2016
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions (IEC 62047-1:2016); German version EN 62047-1:2016
In diesem Teil der IEC 62047 sind Begriffe für Bauelemente der Mikrosystemtechnik (MST) einschließlich der Fertigungsprozesse für solche Bauelemente festgelegt
May 1, 2014
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions (IEC 47F/177/CD:2013)
In diesem Teil der IEC 62047 sind Begriffe für Bauelemente der Mikrosystemtechnik (MST) einschließlich der Fertigungsprozesse für solche Bauelemente festgelegt.
October 1, 2006
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions (IEC 62047-1:2005); German version EN 62047-1:2006
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