scope:

Dieses Dokument gibt Richtlinien zur Reinigung von Reinraumoberflächen, Oberflächen der Ausrüstung in einem Reinraum und Oberflächen von Materialien in einem Reinraum bis zu einem festgelegten Grad. Berücksichtigt werden alle relevanten Oberflächen (extern oder intern). Es gibt Anleitungen zur Bewertung von Reinigungsverfahren zum Erreichen der geforderten Klassen der partikulären Oberflächenreinheit (en: surface cleanliness by particle concentration, SCP) und der chemischen Oberflächenreinheit (en: surface cleanliness by chemical concentration, SCC) und in Bezug darauf, welche Techniken zum Erreichen dieser festgelegten Grade berücksichtigt werden sollten.

Bei der Eignung von Reinigungstechniken wird auf die Reinheitsklassen und die damit verbundenen Prüfverfahren aus ISO 14644-9 und ISO 14644-10 verwiesen.

Zu folgenden Aspekten werden allgemeine Anleitungen gegeben:

- die erwarteten Oberflächenreinheitsgrade;

- die Eignung der Reinigungsverfahren;

- die Kompatibilität von Oberflächen mit der Reinigungstechnik;

- die Bewertung der Eignung für die Reinigung.

Das Folgende wird in diesem Dokument nicht berücksichtigt:

- die Klassifizierung von Reinigungsverfahren;

- das innerhalb eines Reinraums hergestellte Produkt;

- die spezifische Oberfläche in Bezug auf die Reinigungsverfahren;

- die detaillierte Beschreibung von Reinigungsmechanismen, -verfahren sowie Verfahrensweisen von verschiedenen Reinigungsverfahren;

- die detaillierten Materialkenngrößen;

- die Beschreibung von Mechanismen hinsichtlich Schäden durch die Reinigungsprozesse und zeitabhängigen Auswirkungen;

- Verweisungen auf interaktive Bindungskräfte zwischen den Kontaminanten und Oberflächen oder Generierungsprozesse, die üblicherweise zeit- und prozessabhängig sind;

- weitere Kenngrößen von Partikeln, beispielsweise elektrostatische Ladung, Ionenladungen usw.;

- die chemischen Reaktionen zwischen molekularen Kontaminanten und Oberflächen;

- die mikrobiologischen Aspekte der Oberflächenreinheit;

- die radioaktiven Aspekte der Kontamination;

- die Aspekte des Gesundheitsschutzes und der Arbeitssicherheit;

- die Umweltaspekte, beispielsweise Abfallentsorgung, Emissionen usw.;

- die Auswahl und Anwendung von statistischen Verfahren.