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Dieser Teil der Reihe ISO 14644 legt das Klassifizierungssystem für die Oberflächenreinheit in Reinräumen hinsichtlich vorhandener chemischer Verbindungen oder Elemente (einschließlich Molekülen, Ionen, Atomen und Partikeln) fest. Dieser Teil der Reihe ISO 14644 gilt für alle festen Oberflächen in Reinräumen und zugehörigen Reinraumbereichen, wie z. B. Wände, Decken, Fußböden, Arbeitsbereiche, Werkzeuge, Ausrüstungsgegenstände und Geräte.

ANMERKUNG 1 Für die Anwendung dieses Teils der Reihe ISO 14644 werden nur die chemischen Eigenschaften eines Partikels in Betracht gezogen. Die physikalischen Eigenschaften des Partikels werden nicht berücksichtigt und dieser Teil der Reihe ISO 14644 behandelt nicht die Wechselwirkung zwischen der Kontamination und der Oberfläche.

ANMERKUNG 2 Dieser Teil der Reihe ISO 14644 enthält nicht den Entstehungsprozess der Kontamination und zeitabhängige Einflüsse (Ablagerung, Sedimentation, Alterung usw.) oder prozessabhängige Tätigkeiten wie z. B. Transport und Handhabung. Auch enthält sie keine Leitlinie zu statistischen Qualitätskontrollverfahren zur Sicherstellung der Übereinstimmung.