DIN EN ISO 14644-10
Reinraeume und zugehoerige Reinraumbereiche - Teil 10: Bewertung der chemischen Oberflaechenreinheit (ISO 14644-10:2022); Deutsche Fassung EN ISO 14644-10:2022
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| Organization: | DIN |
| Publication Date: | 1 October 2022 |
| Status: | active |
| Page Count: | 43 |
| ICS Code (Cleanrooms and associated controlled environments): | 13.040.35 |
Document History
DIN EN ISO 14644-10
October 1, 2022
Reinraeume und zugehoerige Reinraumbereiche - Teil 10: Bewertung der chemischen Oberflaechenreinheit (ISO 14644-10:2022); Deutsche Fassung EN ISO 14644-10:2022
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March 1, 2022
Reinraeume und zugehoerige Reinraumbereiche - Teil 10: Bewertung der chemischen Oberflaechenreinheit (ISO/FDIS 14644-10:2021); Deutsche und Englische Fassung prEN ISO 14644-10:2021
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June 1, 2013
Reinraeume und zugehoerige Reinraumbereiche - Teil 10: Klassifizierung der chemischen Oberflaechenreinheit (ISO 14644-10:2013); Deutsche Fassung EN ISO 14644-10:2013
Dieser Teil der Reihe ISO 14644 legt das Klassifizierungssystem für die Oberflächenreinheit in Reinräumen hinsichtlich vorhandener chemischer Verbindungen oder Elemente (einschließlich Molekülen,...
June 1, 2011
Reinraeume und zugehoerige Reinraumbereiche - Teil 10: Klassifizierung der chemischen Oberflaechenreinheit (ISO/DIS 14644-10:2011); Deutsche Fassung prEN ISO 14644-10:2011
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