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In diesem Teil der IEC 62047 sind Fachgrundspezifikationen (Generic Specifications) für Bauteile der Mikrosystemtechnik (MST), welche auf Basis von Halbleitern hergestellt werden (MEMS), als Grundlage für Spezifikationen beschrieben, welche in anderen Teilen dieser Serie für unterschiedliche MST-Anwendungsbereiche angegeben sind, wie zum Beispiel Sensoren und RF-MEMS, aber nicht für Opto-MEMS, Bio-MEMS, Mikro-TAS und Power-MEMS. Diese Norm enthält Festlegungen sowohl zu allgemeinen Verfahren für die Qualitätsbewertung, um sie innerhalb des IECQ-CECC-Systems zu verwenden, als auch allgemeine Prinzipien zur Beschreibung und Messung bzw. Prüfung von elektrischen, optischen, mechanischen und umgebungsspezifischen Kenngrößen.

Dieser Teil der IEC 62047 dient als Hilfe für das Erstellen von Normen zur Beschreibung von Bauteilen und Systemen, welche mittels mikrostrukturtechnischer Verfahren hergestellt werden, und umfasst ohne ausschließliche Beschränkung: Werkstoffcharakterisierungen und Handling, Montage und Prüfungen sowie Angaben zu Prozessregelung und Messverfahren. Bauteile der Mikrosystemtechnik, die in dieser Norm beschrieben sind, werden grundsätzlich auf der Basis von Halbleiter-Werkstoffen hergestellt. Trotzdem sind die Festlegungen dieser Norm auch auf Mikrobauteile anwendbar, bei denen keine Halbleiter-Werkstoffe verwendet werden, wie beispielsweise Polymere, Gläser, Metalle und Keramiken.