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DIN EN ISO 14644-10

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 10: Classification of surface cleanliness by chemical concentration (ISO 14644-10:2013); German version EN ISO 14644-10:2013

active, Most Current
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Organization: DIN
Publication Date: 1 June 2013
Status: active
Page Count: 40
ICS Code (Cleanrooms and associated controlled environments): 13.040.35
scope:

Dieser Teil der Reihe ISO 14644 legt das Klassifizierungssystem für die Oberflächenreinheit in Reinräumen hinsichtlich vorhandener chemischer Verbindungen oder Elemente (einschließlich Molekülen, Ionen, Atomen und Partikeln) fest. Dieser Teil der Reihe ISO 14644 gilt für alle festen Oberflächen in Reinräumen und zugehörigen Reinraumbereichen, wie z. B. Wände, Decken, Fußböden, Arbeitsbereiche, Werkzeuge, Ausrüstungsgegenstände und Geräte.

ANMERKUNG 1 Für die Anwendung dieses Teils der Reihe ISO 14644 werden nur die chemischen Eigenschaften eines Partikels in Betracht gezogen. Die physikalischen Eigenschaften des Partikels werden nicht berücksichtigt und dieser Teil der Reihe ISO 14644 behandelt nicht die Wechselwirkung zwischen der Kontamination und der Oberfläche.

ANMERKUNG 2 Dieser Teil der Reihe ISO 14644 enthält nicht den Entstehungsprozess der Kontamination und zeitabhängige Einflüsse (Ablagerung, Sedimentation, Alterung usw.) oder prozessabhängige Tätigkeiten wie z. B. Transport und Handhabung. Auch enthält sie keine Leitlinie zu statistischen Qualitätskontrollverfahren zur Sicherstellung der Übereinstimmung.

Document History

DIN EN ISO 14644-10
June 1, 2013
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 10: Classification of surface cleanliness by chemical concentration (ISO 14644-10:2013); German version EN ISO 14644-10:2013
Dieser Teil der Reihe ISO 14644 legt das Klassifizierungssystem für die Oberflächenreinheit in Reinräumen hinsichtlich vorhandener chemischer Verbindungen oder Elemente (einschließlich Molekülen,...
June 1, 2011
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 10: Classification of surface cleanliness by chemical concentration (ISO/DIS 14644-10:2011); German version prEN ISO/DIS 14644-10:2011
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References

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