DIN SPEC 1994
Testing of materials for semiconductor technology - Determination of anions in weak acids
inactive
| Organization: | DIN |
| Publication Date: | 1 July 2016 |
| Status: | inactive |
| Page Count: | 11 |
| ICS Code (Semiconducting materials): | 29.045 |
Document History
February 1, 2017
Pruefung von Materialien fuer die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Anionen in schwachen Saeuren
Dieser Fachbericht legt ein Verfahren zur Bestimmung der Anionen Chlorid, Sulfat, Nitrat und Phosphat in Flusssäure, Ammoniumfluorid-Lösung und deren Gemische sowie in Essigsäure im Bereich von 10...
DIN SPEC 1994
July 1, 2016
Testing of materials for semiconductor technology - Determination of anions in weak acids
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