DIN SPEC 1994
Pruefung von Materialien fuer die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Anionen in schwachen Saeuren
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| Organization: | DIN |
| Publication Date: | 1 February 2017 |
| Status: | active |
| Page Count: | 11 |
| ICS Code (Semiconducting materials): | 29.045 |
scope:
Dieser Fachbericht legt ein Verfahren zur Bestimmung der Anionen Chlorid, Sulfat, Nitrat und Phosphat in Flusssäure, Ammoniumfluorid-Lösu
Der Arbeitsbereich ist durch die Kapazität der Anreicherungssäulen und durch die der Trennsäule begrenzt. Eine Probenverdünnung in den Arbeitsbereich kann erforderlich sein.
Nach vorheriger Prüfung kann das Verfahren auch auf die Matrices Ameisensäure, Glycolsäure, und andere schwache Säuren angewendet werden
Document History
DIN SPEC 1994
February 1, 2017
Pruefung von Materialien fuer die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Anionen in schwachen Saeuren
Dieser Fachbericht legt ein Verfahren zur Bestimmung der Anionen Chlorid, Sulfat, Nitrat und Phosphat in Flusssäure, Ammoniumfluorid-Lösung und deren Gemische sowie in Essigsäure im Bereich von 10...
July 1, 2016
Testing of materials for semiconductor technology - Determination of anions in weak acids
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