DIN 28429
Vacuum technology; acceptance specifications for sputter ion pumps
inactive
| Organization: | DIN |
| Publication Date: | 1 August 1985 |
| Status: | inactive |
| ICS Code (Vacuum technology): | 23.160 |
Document History
May 1, 2014
Vacuum technology - Acceptance specifications for ion getter pumps
Diese Norm gilt für lonengetterpumpen1) (im Folgenden kurz Pumpen genannt) mit einem Nennsaugvermögen größer als 10 I s−1. Der Druckbereich für die Bestimmung des Saugvermögens liegt zwischen 1 ×...
April 1, 2013
Vacuum technology - Acceptance specifications for ion getter pumps
Diese Norm gilt für lonengetterpumpen1) (im Folgenden kurz Pumpen genannt) mit einem Nennsaugvermögen größer als 10 I s-1. Der Druckbereich für die Bestimmung des Saugvermögens liegt zwischen 1 ×...
April 1, 2003
Vacuum technology - Acceptance specifications for getter ion pumps
Diese Norm gilt für Ionengetterpumpen1) (im Folgenden kurz Pumpen genannt) mit einem Nennsaugverm ögen größer als 10 l s−1.
Der Druckbereich für die Bestimmung des Saugvermögens liegt zwischen 1,5 ×...
March 1, 2002
Vacuum technology - Acceptance specifications for getter ion pumps
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DIN 28429
August 1, 1985
Vacuum technology; acceptance specifications for sputter ion pumps
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