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Webinars & White Papers

DIN 28429

Vacuum technology - Acceptance specifications for ion getter pumps

active, Most Current
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Organization: DIN
Publication Date: 1 May 2014
Status: active
Page Count: 13
ICS Code (Vacuum technology): 23.160
scope:

Diese Norm gilt für lonengetterpumpen1) (im Folgenden kurz Pumpen genannt) mit einem Nennsaugvermögen größer als 10 I s−1. Der Druckbereich für die Bestimmung des Saugvermögens liegt zwischen 1 × 10−5 mbar und 1 × 10−9 mbar.

Diese Norm soll sicherstellen, dass die Bestimmung der charakteristischen Daten von Ionengetterpumpen so weit wie möglich nach einheitlichen Verfahren und unter einheitlichen Bedingungen durchgeführt wird. Hierdurch soll erreicht werden, dass die Messungen, die von verschiedenen Herstellern oder von verschiedenen Laboratorien durchgeführt werden und die Informationen, die in den Katalogen der Hersteller angegeben werden, grundsätzlich vergleichbar sind.

ANMERKUNG Es ist zu erwarten, dass sich die Leistung neuer Pumpen mit der Zeit verschlechtert, weil sie während ihrer Betriebszeit unbekannten Gasbelastungen ausgesetzt werden, die irreversible Änderungen in der Leistung mit sich bringen. Im Falle von gebrauchten Pumpen ermöglichen die Messungen Leistungsvergleiche, vorausgesetzt, dass sie unter den Bedingungen, die im Folgenden beschrieben sind, durchgeführt werden.

1) Begriff siehe DIN 28400-2.

Document History

DIN 28429
May 1, 2014
Vacuum technology - Acceptance specifications for ion getter pumps
Diese Norm gilt für lonengetterpumpen1) (im Folgenden kurz Pumpen genannt) mit einem Nennsaugvermögen größer als 10 I s−1. Der Druckbereich für die Bestimmung des Saugvermögens liegt zwischen 1 ×...
April 1, 2013
Vacuum technology - Acceptance specifications for ion getter pumps
Diese Norm gilt für lonengetterpumpen1) (im Folgenden kurz Pumpen genannt) mit einem Nennsaugvermögen größer als 10 I s-1. Der Druckbereich für die Bestimmung des Saugvermögens liegt zwischen 1 ×...
April 1, 2003
Vacuum technology - Acceptance specifications for getter ion pumps
Diese Norm gilt für Ionengetterpumpen1) (im Folgenden kurz Pumpen genannt) mit einem Nennsaugverm ögen größer als 10 l s−1. Der Druckbereich für die Bestimmung des Saugvermögens liegt zwischen 1,5 ×...
March 1, 2002
Vacuum technology - Acceptance specifications for getter ion pumps
A description is not available for this item.
August 1, 1985
Vacuum technology; acceptance specifications for sputter ion pumps
A description is not available for this item.

References

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