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VDI/VDE 2655 BLATT 1.1

Optische Messtechnik an Mikrotopografien - Kalibrieren von Interferenzmikroskopen und Tiefeneinstellnormalen fuer die Rauheitsmessung

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Organization: VDI
Publication Date: 1 January 2024
Status: active
Page Count: 41
ICS Code (Optical equipment): 37.020
ICS Code (Optics and optical measurements in general): 17.180.01

Document History

VDI/VDE 2655 BLATT 1.1
January 1, 2024
Optische Messtechnik an Mikrotopografien - Kalibrieren von Interferenzmikroskopen und Tiefeneinstellnormalen fuer die Rauheitsmessung
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March 1, 2008
Optische Messtechnik an Mikrotopographien - Kalibrieren von Interferenzmikroskopen und Tiefeneinstellnormalen fuer die Rauheitsmessung
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April 1, 2005
Optische Messtechnik an Mikrotopographien - Kalibrieren von Interferenzmikroskopen und Tiefeneinstellnormalen fuer die Rauheitsmessung
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