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Questa Norma fa parte della serie EN/IEC 62047 riguardante i dispositivi microelettromeccanici ed in particolare si occupa dei metodi di prova di resistenza allo sforzo di tensione assiale per i materiali a film sottile.
I film sottili vengono usati come materiale per la struttura base per i micro-sistemi elettromeccanici e per i micro apparati.
La Norma descrive il metodo per la prova di resistenza allo sforzo di tensione assiale per i materiali a film sottile con una larghezza ed una lunghezza inferiore ad 1 mm ed uno spessore compreso tra 0,1 microm e 10 microm e con una forza di valore costante o set di valori costanti.
Questa Norma viene pubblicata dal CEI nella sola lingua inglese in quanto particolarmente mirata a settori specialistici.
La presente Norma recepisce il testo originale inglese della Pubblicazione IEC.