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Diese Internationale Norm legt die wichtigsten Größen fest, die ein energiedispersives Röntgenspektrometer charakterisieren, das im Wesentlichen aus einem Halbleiterdetektor, einem Vorverstärker und einer Signalverarbeitungseinheit besteht. Diese Internationale Norm gilt ausschließlich für Spektrometer mit Halbleiterdetektor, die nach dem Prinzip der Festkörperionisierung funktionieren. Diese Internationale Norm legt die Mindestanforderungen fest und wie die relevanten Performanceparameter bei derartigen an einem Rasterelektronenmikroskop (REM) oder Elektronenstrahlmikroanalysator (ESMA) angeschlossenen Spektrometer zu überprüfen sind. Das bei der eigentlichen Analyse angewandte Verfahren ist in ISO 22309 [2] und ASTM E1508 [3] beschrieben und liegt außerhalb des Anwendungsbereiches dieser Internationalen Norm.