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DIN EN ISO 14644-14

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration (ISO 14644-14:2016); German version EN ISO 14644-14:2016

active, Most Current
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Organization: DIN
Publication Date: 1 January 2017
Status: active
Page Count: 30
ICS Code (Cleanrooms and associated controlled environments): 13.040.35
scope:

Dieser Teil von ISO 14644 legt eine Methodik zur Bewertung der Reinraumtauglichkeit von Geräten (z. B. Maschinen, Messgeräte, Prozessausrüstung, Komponenten und Werkzeuge) für die Anwendung in Reinräumen und zugehörigen kontrollierten Bereichen in Bezug auf die luftgetragene Partikelreinheit nach den Festlegungen in ISO 14644-1 fest. Der Partikelgrößenbereich reicht von 0,1 μm bis gleich oder größer als 5 μm (in ISO 14644-1 angegeben).

ANMERKUNG Sofern die zuständigen Behörden ergänzende Richtlinien oder Einschränkungen vorgeben, können geeignete Anpassungen der Methodik zur Bewertung erforderlich sein.

Die folgenden Aspekte sind nicht durch diesen Teil von ISO 14644 abgedeckt: 

- Bewertung der Tauglichkeit in Bezug auf die Biokontamination; 

- Prüfung zur Tauglichkeit von Dekontaminationsmitteln und -techniken; 

- Reinigungsfähigkeit der Geräte und Materialien; 

- Anforderungen an die konstruktive Auslegung von Geräten und die Auswahl von Materialien; 

- physikalische Materialeigenschaften (z. B. elektrostatische, thermische Eigenschaften); 

- Optimierung der Geräteleistung für spezifische Prozessanwendungen; 

- Auswahl und Anwendung statistischer Verfahren für die Prüfung; 

- Protokolle und Anforderungen hinsichtlich regionaler Sicherheitsvorschriften.

Document History

DIN EN ISO 14644-14
January 1, 2017
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration (ISO 14644-14:2016); German version EN ISO 14644-14:2016
Dieser Teil von ISO 14644 legt eine Methodik zur Bewertung der Reinraumtauglichkeit von Geräten (z. B. Maschinen, Messgeräte, Prozessausrüstung, Komponenten und Werkzeuge) für die Anwendung in...
November 1, 2014
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration (ISO/DIS 14644-14:2014); German version prEN ISO 14644-14:2014
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References

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