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DIN EN ISO 14644-9

Reinraeume und zugehoerige Reinraumbereiche - Teil 9: Klassifizierung der partikulaeren Oberflaechenreinheit (ISO 14644-9:2012); Deutsche Fassung EN ISO 14644-9:2012

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Organization: DIN
Publication Date: 1 December 2012
Status: active
Page Count: 32
ICS Code (Cleanrooms and associated controlled environments): 13.040.35
scope:

Der vorliegende Teil der ISO 14644 beschreibt die Klassifizierung der partikulären Reinheitsgrade auf festen Oberflächen für Anwendungen in Reinräumen und zugehörigen Reinraumbereichen. Empfehlungen zu Prüfund Messverfahren sowie Angaben zu Oberflächenkenngrößen sind in den Anhängen A bis D enthalten.

Dieser Teil der ISO 14644 gilt für alle festen Oberflächen in Reinräumen und zugehörigen Reinraumbereichen, wie z. B. Wände, Decken, Fußböden, Arbeitsbereiche, Werkzeuge, Ausrüstungsgegenstände und Produkte. Die SCP-Klassifizierung (Klassifizierung der partikulären Oberflächenreinheit, en: classification of surface cleanliness by particle concentration, SCP) ist auf Partikel mit einer Größe zwischen 0,05 μm und 500 μm begrenzt.

Folgende Aspekte werden in diesem Teil der Reihe ISO 14644 nicht betrachtet:

- Anforderungen an die Reinheit und Eignung von Oberflächen für bestimmte Prozesse;

- Verfahrensweisen für die Reinigung von Oberflächen;

- Materialkenngrößen;

- Bezüge auf die wechselseitigen Bindungskräfte oder Entstehungsprozesse, die üblicherweise zeitabhängig und prozessabhängig sind;

- Auswahl und Anwendung statistischer Klassifizierungs- und Prüfverfahren;

- weitere Kenngrößen von Partikeln, wie z. B. elektrostatische Ladung, Ionenladungen, mikrobiologischer Zustand usw.

Document History

October 1, 2022
Reinraeume und zugehoerige Reinraumbereiche - Teil 9: Bewertung der partikulaeren Oberflaechenreinheit (ISO 14644-9:2022); Deutsche Fassung EN ISO 14644-9:2022
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February 1, 2022
Reinraeume und zugehoerige Reinraumbereiche - Teil 9: Klassifizierung der partikulaeren Oberflaechenreinheit (ISO/FDIS 14664-9:2021); Deutsche und Englische Fassung prEN ISO 14664-9:2021
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DIN EN ISO 14644-9
December 1, 2012
Reinraeume und zugehoerige Reinraumbereiche - Teil 9: Klassifizierung der partikulaeren Oberflaechenreinheit (ISO 14644-9:2012); Deutsche Fassung EN ISO 14644-9:2012
Der vorliegende Teil der ISO 14644 beschreibt die Klassifizierung der partikulären Reinheitsgrade auf festen Oberflächen für Anwendungen in Reinräumen und zugehörigen Reinraumbereichen. Empfehlungen...
August 1, 2008
Reinraeume und zugehoerige Reinraumbereiche - Teil 9: Klassifzierung der partikulaeren Oberflaechenreinheit (ISO/DIS 14644-9:2008); Deutsche Fassung prEN ISO 14644-9:2008
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References

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