DIN EN ISO 14644-9
Reinraeume und zugehoerige Reinraumbereiche - Teil 9: Klassifizierung der partikulaeren Oberflaechenreinheit (ISO 14644-9:2012); Deutsche Fassung EN ISO 14644-9:2012
Organization: | DIN |
Publication Date: | 1 December 2012 |
Status: | active |
Page Count: | 32 |
ICS Code (Cleanrooms and associated controlled environments): | 13.040.35 |
scope:
Der vorliegende Teil der ISO 14644 beschreibt die
Klassifizierung der partikulären Reinheitsgrade auf festen
Oberflächen für Anwendungen in Reinräumen und zugehörigen
Reinraumbereichen. Empfehlungen zu Prüfund Messverfahren sowie
Angaben zu Oberflächenkenngröße
Dieser Teil der ISO 14644 gilt für alle festen Oberflächen in
Reinräumen und zugehörigen Reinraumbereichen, wie z. B. Wände,
Decken, Fußböden, Arbeitsbereiche, Werkzeuge,
Ausrüstungsgegenstän
Folgende Aspekte werden in diesem Teil der Reihe ISO 14644 nicht betrachtet:
- Anforderungen an die Reinheit und Eignung von Oberflächen für bestimmte Prozesse;
- Verfahrensweisen für die Reinigung von Oberflächen;
- Materialkenngrößen;
- Bezüge auf die wechselseitigen Bindungskräfte oder
Entstehungsprozesse,
- Auswahl und Anwendung statistischer Klassifizierungs- und Prüfverfahren;
- weitere Kenngrößen von Partikeln, wie z. B. elektrostatische Ladung, Ionenladungen, mikrobiologischer Zustand usw.