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CEI EN 62047-1

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions

inactive
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Organization: CEI
Publication Date: 1 February 2007
Status: inactive
Page Count: 30
scope:

La presente Norma fa parte della serie EN/IEC 62407 e si occupa di terminologia.
In particolare la Norma è un glossario dei termini e delle definizioni standard relativamente ai dispositivi microelettromeccanici ed ai processi produttivi che li riguardano.
Questa Norma viene pubblicata dal CEI nella sola lingua inglese in quanto particolarmente mirata a settori specialistici.
La presente Norma recepisce il testo originale inglese della Pubblicazione IEC e pertanto consta delle sole pagine dispari.

Document History

November 1, 2016
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions
This part of IEC 62047 defines terms for micro-electromechanical devices including the process of production of such devices.
CEI EN 62047-1
February 1, 2007
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions
La presente Norma fa parte della serie EN/IEC 62407 e si occupa di terminologia. In particolare la Norma è un glossario dei termini e delle definizioni standard relativamente ai dispositivi...

References

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