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Dieses Dokument legt das Prüfverfahren zur Biegebeanspruchung von Dünnschicht-Werkstoffen mit Längen und Breiten von jeweils kleiner 1 mm und einer Dicke im Bereich zwischen 0,1 μm und 10 μm fest. Dünnschicht- Werkstoffe werden als Hauptbestandteil von MEMS-Bauteilen und Mikromaschinen verwendet.

Die Hauptbestandteile von MEMS-Bauteilen, Mikromaschinen usw. haben bestimmte Eigenschaften wie Abmessungen im Mikrometerbereich, Herstellungsverfahren des Werkstoffs mittels Dampfabscheidung und die Mikroproben werden mithilfe nichtmechanischer Verfahren, einschließlich der Fotolithografie, hergestellt. Dieses Dokument legt für oberflächenpolierten Proben mit Abmessungen im Mikrometerbereich eine Biege- Prüfbeanspruchung fest, die eine Genauigkeit ermöglicht, welche den besonderen Eigenschaften entspricht.