DIN 32567-2
Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 2: Specimen for tactile procedures
Organization: | DIN |
Publication Date: | 1 October 2014 |
Status: | active |
Page Count: | 13 |
ICS Code (Precision mechanics): | 39.020 |
scope:
DIN 32567 beschreibt systematische Einflüsse und Abweichungen
bei der Messung von Schichtdicken und Stufenhöhen von
Mikrostrukturen aus inhomogenen Materialien mit ausgewählten
taktilen und optischen Messgeräten. DIN 32567 legt Verfahren fest,
mit denen durch Materialeigenschafte
Dieser Teil der DIN 32567 beschreibt Prüfkörper für
topografische Schichtdickenmessung