DIN 32567-3
Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 3: Derivation of correction values for tactile measuring devices
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| Organization: | DIN |
| Publication Date: | 1 October 2014 |
| Status: | active |
| Page Count: | 28 |
| ICS Code (Precision mechanics): | 39.020 |
scope:
DIN 32567 beschreibt systematische Einflüsse und Abweichungen
bei der Messung von Schichtdicken und Stufenhöhen von
Mikrostrukturen aus inhomogenen Materialien mit ausgewählten
taktilen und optischen Messgeräten. DIN 32567 legt Verfahren fest,
mit denen durch Materialeigenschafte
Dieser Teil der DIN 32567 beschreibt systematische Einflussfaktoren für die taktile Messung von Schichtdicken und Stufenhöhen von Mikrostrukturen aus inhomogenen Materialien. Außerdem legt dieser Teil der DIN 32567 Verfahren fest, mit denen diese Einflussfaktoren ermittelt und korrigiert werden können. Dadurch wird es möglich, genauere Messergebnisse zu erzielen.
Document History
DIN 32567-3
October 1, 2014
Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 3: Derivation of correction values for tactile measuring devices
DIN 32567 beschreibt systematische Einflüsse und Abweichungen bei der Messung von Schichtdicken und Stufenhöhen von Mikrostrukturen aus inhomogenen Materialien mit ausgewählten taktilen und optischen...
July 1, 2012
Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 3: Derivation of correction values for tactile measuring devices
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